中国准分子激光气又一企业获得合格供应商认证

特气网近日，上海启元气体发展有限公司收到日本GIGAPHOTON发来的准分子激光气合格供应商认证证书。这代表了日本GIGAPHOTON对公司产品质量及在光刻气生产领域的生产能力的认可。

上海启元气体发展有限公司是国内知名的电子大宗气体和电子特气供应商,经过二十几年的纯化技术的积累及沉淀，启元气体现已实现超高纯氧、高纯氮的现场供气，并已投资运行国内领先技术的电子特种气体精炼中心。

据了解，GIGAPHOTON是全球首屈一指的半导体光刻机用准分子激光器制造商，是次世代光刻光源的极端远紫外光源（EUV）的开发者并实现量产。其母公司是日本有着百年历史的综合技术企业小松制作所。

2021年10月9日，华特气体曾发布公告称，公司四款光刻气产品均通过了日本GIGAPHOTON株式会社的合格供应商认证。

自此，中国已经有两家气体公司成功拿到GIGAPHOTON合格供应商认证。同时，华特气体和凯美特气两家公司的光刻气产品也都已经取得ASML认证。这些国际认证的成功取得，代表了我们国家在电子特种气体领域的生产技术、过程管理和品质管控方面整体实力的显著提升。

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