联优为718所特气项目提供高低温膨胀机

气体分离82日从联优UniEco获悉,其将为中船重工集团718所特气项目8000液氮制备装置提供一套高低温增压膨胀机。该项目预计在20208月之前投入运行。

据悉,中船重工718研究所特种气体二期工程项目于20185月开工建设,项目总投资12亿元,占地250亩,总建筑面积15.9万平方米,主要建设高纯电子特种气体生产车间、研发中心及辅助设施等。建成后,特种气体产量达7400/年,氮气产量达80000/年。

高纯电子特种气体被形容为半导体工业的“血液”和“粮食”,是大规模集成电路、多晶硅、太阳能、光纤等先进制造业的重要原材料,属于国家加快扶持发展的战略性新兴产业。然而早些年,相关产品被国外垄断,市场定价权掌握在国外厂商手中。为打破垄断、抢占市场机遇。

718所于2000年组建特种气体工程部,自筹经费立项开展研究,于2009年成功开发出高纯三氟化氮,该产品被列入国家“重点新产品”及“火炬计划”,应用于国内大部分的半导体、液晶、太阳能行业,并出口美国、日本、法国、德国等国家。

718所拥有50多年从事气体相关产业的研发和生产经验,目前该所已建成国内最大的三氟化氮、六氟化钨及三氟甲磺酸系列产品研发生产基地。其中三氟化氮国内市场覆盖率超过95%,国际市场覆盖率达30%;六氟化钨国内市场覆盖率达100%,国际市场覆盖率达40%。作为国家“02专项”气体组项目的牵头单位,该所已经成功研制出四氟化硅等9种高纯气体及10种混合气体,并成功进行了产业化,产品得到了中芯国际等半导体龙头企业的测试认证。

近两年,718所特种气体产业迅速壮大,年均增速达到30%。该所力争到2020年,实现年产高纯三氟化氮气体12000吨、高纯六氟化钨气体2000吨、其他特种气体3000吨,成为世界知名的电子特种气体材料综合服务商。

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