中日联合开展WF6等高端电子气体的生产和销售

近日，浙江博瑞电子科技有限公司与日本中央硝子株式会社在日本东京签署了合资公司合同，约定共同出资在浙江衢州设立中日合资公司，开展WF6（400吨/年）等系列高纯电子气体的生产和销售业务。目前双方已向有权管理机关申请合资公司设立登记。

六氟化钨(WF6)是目前钨氟化物中唯一稳定并被工业化生产的品种。主要用作电子工业中金属钨化学气相沉积(CVD)工艺的原材料, 用它制成的WSi2 可用作大规模集成电路(LSI)中的配线材料。其实我们生活中随处可见WF6的身影，比如我们每天都在使用的手机，电脑，电视和汽车等电子产品，都离不开WF6的功劳。

博瑞公司成立于2014年12月，致力于满足集成电路和平板显示器制造等行业所需的电子化学材料的研发、生产和销售，为客户提供专业整体解决方案。巨化股份作为博瑞公司的主要投资方，积极创造良好的发展环境，努力促成了此次博瑞公司与中央硝子的合作。

中央硝子总部位于日本东京市，在高纯电子气体技术开发与产业化方面有着近30年的历史积淀，拥有众多先进生产技术和丰富的客户服务经验，其高纯电子气体产品广泛应用于美国及亚太地区的集成电路企业，在行业中有着良好的知名度和客户基础。

电子特种气体是电子和信息化工业重要的支撑材料之一，本次中日合资公司WF6等系列高纯电子气体项目建成后，将有力支撑中国集成电路产业发展，顺应中国集成电路产业发展对高纯电子气体的旺盛需求。

文章来源：气体圈子