关东电化5.4亿含氟电子特气等项目在华获受理

2月25日，宣城市人民政府网发布公告，对《宣城科地克科技有限公司年产7700吨氟化物项目环境影响报告书(送审稿)》进行了受理。该项目建设单位为宣城科地克科技有限公司，拟投资54248.07万元，在安徽宣城高新技术产业开发区内，建设年产7700吨氟化物项目。

根据设计方案，该项目分三期建设，一期项目建设周期为12个月，二期为6个月。

一期建设高纯度氟化铵生产装置（年产2000t/a）、工业级氟化铵生产装置（年产1000t/a）等；二期建设高纯度氟化铵生产装置（年产4000t/a），六氟丁二烯生产装置（年产100t/a）、六氟化钨生产装置（年产300t/a）、四氟化碳生产装置（年产300t/a）等；三期预留一栋生产装置。

拟建项目产品方案一览表

宣城科地克科技科技有限公司成立于2020年1月，是以高品质氟化铵、特种刻蚀气体、集成电路中的配线材料为主要产品的化工企业，公司选址位于安徽宣城高新技术产业开发区内，总计划占地面积约为75亩。

据了解，日本关东电化近期向位于安徽宣城的子公司增加了950万美元的资本。该工厂将成为其海外生产半导体和液晶特殊气体的主要基地。本次增资主要用于补充厂房建设，增资后投资比例为96.8％。根据最新的财务报告，该公司NF3，C4F6和WF6的销量在2020年都有增长，C4F6的销量和价格双双增长。

高品质氟化铵，是日本关东电化工业主力产品之一三氟化氮的主要原料，三氟化氮是微电子工业中一种优良的特气网等离子蚀刻气体，在氟素化学领域拥有世界领先的市场占有率，同时六氟丁二烯、四氟化碳、六氟化钨等特种气体作为特种蚀刻气体、集成电路中的配线材料，在半导体领域应用广泛，高品质气体可以实现半导体的微细化。

考虑到近年来三氟化氮产品对氟化铵原料的品质要求非常高，原料高品质氟化铵供应不上的情况，宣城科地克科技有限公司计划依托安徽宣城高新技术产业开发区内宣城亨泰电子化学材料有限公司和宣城亨元化工科技有限公司等公司可以为高品质氟化铵提供电子级氢氟酸的优势，拟在安徽宣城高新技术产业开发区投资建设“年产7700吨氟化物项目”。

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