乙硅烷《气体应用大全》

1.别名·英文名

Disilane、Disilicoethane,Silicoethane?Disilicon hexahy-dride、Disilicane.

2.用途

太阳能电池、感光转筒、非晶硅膜、外延成长、氧化膜、氮化膜、化学气相淀积。

3.制法

(1)硅化镁法.

Mg2Si+HCl→Si2H6+MgCl2

反应产物为单硅烷、乙硅烷、丙硅烷、丁硅烷的混合物,把它们精制分离后得乙硅烷。

(2)还原法:用氢化铝锂等还原剂还原六氯乙硅烷。

乙硅烷用低温精馏和吸附等方法精制。

(3)甲硅烷无声放电。

4.理化特性:

分子量: 66.22

熔点(101.325kPa): -132.6℃

沸点(101.325kPa): -14.3℃

液体密度(-14.3℃,101.325kPa): 901 kg/m3

气体密度(-14.3℃,101.325kPa): 2.97kg/m3

临界温度: 150.85℃

临界压力: 5150kPa

临界密度: 338kg/m3

熔化热(-132.6℃,14055kPa): 1.34 kJ/kg

气化热(-14.3℃,101.325kPa): 343.74 kJ/kg

蒸气压(-80℃): 3.4kPa

(0℃): 181kPa

80℃): 1468kPa

着火点: 室温

乙硅烷在常温常压下为无色透明具有不愉快刺激臭的有毒气体。它具有与硅烷类似的化学性质,但其反应性比硅烷更强。它比硅烷更不稳定,在室温缓慢分解成硅烷和氢。在300~500℃分解成为SiH4、SinHm、H2,在光照下也分解。在空气中自燃,着火点力室温,所以,遇到空气瞬间就燃烧,并分解成为SiH4和H2。燃烧浓度范围宽,在0.2%以上时,燃烧发出火焰,在0.2%以下时,进行氧化反应生成白色的SiO2。在氯气中也爆炸性地燃烧。与卤素气体爆炸性地反应,但如果是在低温,则适度地进行卤化。与SF6接触则爆炸。与四氯化碳和氯仿激烈反应。与碱金属及汞合金反应分解生成硅烷和氢。与苛性钾作用游离出H2。与纯水和酸不反应,但与碱反应生成硅酸盐和氢。即使从玻璃中溶解出的那种程度微量碱的存在,也能使乙硅烷水解。在KH或LiCl杂质的存在下,在常温也缓慢地分解。

Si2H6—→SiH4+(SiH2)x

乙硅烷可溶于二硫化碳、乙基醇、苯和乙基硅酸。它腐蚀橡胶、黄油类、润滑油、铅等,但对大多数金属不腐蚀。

5.毒性

有关乙硅烷的毒性方面的文献资料很少,但是从理论上以及其它类似氢化物的毒性中可以推测出,乙硅烷也是有毒的。

6.安全防护

因为乙硅烷比硅烷更不稳定,所以,应该比硅烷更加注意(参见硅烷)。钢瓶温度不能冷却到乙硅烷的沸点(-14.3℃)以下,因为这是非常危险的。

因为乙硅烷在空气中自燃,很容易发现其泄漏,而且有时在泄漏时产生爆炸声,所以要沉着处理泄漏。当小量泄漏时,要站在上风方向去关闭钢瓶阀;关闭阀门仍然止不住时,要浇水并监视到完全烧完为止;或者转移到通风良好的安全场所。当大量泄漏时,主要考虑控制火势使火灾不扩展到别处。为此,要消除一切火源,把附近的可燃物转移出去;采取一切保护措施,例如,浇水降温,把泄漏容器沉入水中,让它在水面上燃烧,撤离人员,封锁危险区等,使人员和物质财富少受损失。

参见附录中的有关内容。

乙硅烷无腐蚀性,可以用碳钢、不锈钢、铜、黄铜、蒙乃尔、耐盐酸镍基合金、聚四氟乙烯、聚三氟氯乙烯聚合体、尼龙、氟化橡胶、玻璃等。

乙硅烷废气可用碱的水溶液吸收或用燃烧法处理。

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