氩气做为粗漏示踪气体的优越性

氩气和氦气同为空气中的惰性气体，正常空气中的氩气分气压PAr0为946Pa，氦气分气压PHe0为0.533Pa，PAr0是PHe0的1775倍。

在积累氦质谱粗漏细漏组合检测中，以氩气为粗漏示踪气体，比以氦气为粗漏示踪气体，具有更高的灵敏度。

采用Pernicka 700H CHLD、配以不同的检测室和Inficon德国公司Rudi Widt先生自制的氩气标准漏孔，进行的测试表明，在测试的氩气不合理的经过深冷泵、氩的吸收使积累曲线呈下降状，因此有一定偏差的情况下，Pernicka 700H CHLD仍能基本准确地测试3.0×10-2Pa·cm3/s和2.0×10-3Pa·cm3/s的氩气漏率。

粗漏氩气测量漏率判据（4）

式中，P0为标准大气压，P0=1.013×105Pa；MA为以克表示的平均空气摩尔质量，MA=28.96g。

综合不同检测室的稳定氩气漏率本底和不同样品的稳定吸附氦漏率，从小内腔容积被检件开始，可对应粗漏可检等效标准漏率L0为0.1Pa·cm3/s、0.3Pa·cm3/s和1.0Pa·cm3/s，分别取粗漏氩气测量漏率判据RAr0max为7.95×10-4Pa·cm3/s、2.39×10-3Pa·cm3/s和7.95×10-3Pa·cm3/s。

这时，粗漏氩气时间常数（5）

使初次检测被检件预充气体中包含分气压为PAr0的氩气，再次检测压氦的同时包含分气压为PAr0的氩气，检测前始终贮存在正常空气中，粗漏检测以氩气为示踪气体，细漏检测以氦气为示踪气体，则可以充分地将粗漏和细漏分开，细漏检测的氦气测量漏率判据Rmax可以大于粗漏判据RAr0max所对应的R0max；可以选取小于等于1.0 Pa·cm3/s的L0；同样内腔容积被检件τAr0所对应的τHe0不仅远大于以氦气为粗漏细漏示踪气体的积累氦质谱组合检测的τHe0，而且可以大于以氟碳化合物气泡法进行粗检漏（L0=1.0Pa·cm3/s）的氦质谱细检漏的τHe0，可以成数量级或成倍地加大定量确定的最长候检时间；有更充裕的时间去除被检件的表面吸附氦，从而允许采用更严的细漏测量漏率判据Rmax；为减少粗漏漏检，若取t4max=0.1τAr0，同样的仪器可适用更宽的τHemin和V范围。

基于以上理由，作者申请了发明专利《一种以氩气为粗漏示踪气体的积累氦质谱组合检测方法》。