硅基电子特气国产化进程提速

特气网近日，毅达资本完成对烟台万华电子材料有限公司(以下简称“万华电子”)的投资。

万华电子成立于2018年，是万华节能科技集团股份有限公司旗下专业从事电子特气产品研发、生产和销售的企业。万华电子的核心产品包括甲硅烷、乙硅烷等。

乙硅烷是一种在半导体先进制程开发以及薄膜沉积工艺等相关制造环节中的关键先进材料，可大幅提升半导体产品开发的成功率，大幅降低研发生产成本，显著缩短开发时间。

万华电子生产的乙硅烷中试纯度超过5N级别，甲硅烷中试纯度超过7N级别，性能指标已经达到国际先进水平。目前公司正在建设年产140吨硅烷类产品生产线，预计2024年正式投产。

毅达资本投资团队表示，乙硅烷是半导体高端制程中不可或缺的核心沉积材料。万华电子现已突破高收率乙硅烷制备技术，成本上具有大幅降低的潜力。此外，公司正在研发其他品种的电子特气产品，积极向电子特气研发、经销、服务.提供综合解决方案平台型企业迈进。

硅基电子特气主要应用到薄膜沉积工艺，品质要求更高。电子特气产品质量控制包括微量元素控制，产品质量的稳定性及充装过程的控制。

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