昊华科技拟建6000吨/年电子级三氟化氮

近日,昊华气体有限公司西南电子特种气体建设项目征求意见稿公示。

项目名称:西南电子特种气体建设项目

建设单位:昊华气体有限公司

建设性质:新建

建设地点:自贡市沿滩区沿滩工业园区化工新材料产业园内

建设内容:建设总规模为6000/年电子级三氟化氮气体生产线(分二期进行实施,其中一期规模为4000/年、二期规模为2000/年、4000/年光电子级高纯氨生产线和液体空分装置(生产液氮100000/年)生产线。

项目投资:148326万元

需要说明的是,原项目一次公示名称为昊华气体(自贡)有限公司西南电子特种气体建设项目,现对项目名称进行了调整,调整为昊华气体有限公司西南电子特种气体建设项目

三氟化氮是一种工业特种气体,主要用作推进剂(火箭)、氟化剂、电子气、等离子蚀刻及用于掺杂、激光、光导纤维等,是超大规模集成电路、液晶显示器件、半导体发光器件和半导体材料制造过程不可缺少的基础性支撑原材料。

三氟化氮的反应性与氟相似,具有在等离子条件下释放氟(F)的能力,是一种热力学稳定的氧化剂。350℃条件下其反应活性相当于氧(O),可作为游离基的供给源,比氟气稳定且易于处理。基于以上性质,三氟化氮在等离子蚀刻工艺中既可作为淀积等离子体增强化学沉积氮化硅源气体,又可在蚀刻氮化硅时作为腐蚀气体,其应用在化学气相沉积室的清洗中,可使生产率提高,排放物大幅减少,具有操作简便、清洁绿色等优点,特别是在当前国家大力推进微电子产品以国产化替代进口的大环境下,三氟化氮市场需求潜力十分巨大,社会效益十分显著。

基于以上三氟化氮特种气体的良好性能和广阔市场前景,昊化气体有限公司为进一步在特种气体领域发展壮大,拟在自贡市沿滩工业园区内建设西南电子特种气体建设项目

昊化气体有限公司是中国中化控股有限责任公司所属科技板块公司-昊华化工科技集团股份有限公司整合旗下黎明院、光明院、西南院三家转制科研院所气体业务的科技、资产、人员等资源组件而成,注册地址河南洛阳,是一家专业以电子气体为主的电子化工材料研发、生产、服务和销售为一体的企业。

文章来源:沿滩区人民政府、氟化工

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