全球先进集成电路半导体特殊气体材料项目在泉投产

8月15日，全球半导体气体材料最大供应商美国应特格有限公司(Entegris)与国内半导体材料高新技术企业博纯材料有限公司合作项目——半导体制造工艺中使用的特殊气体材料项目在泉州永春县顺利投产。该项目初期生产包括砷化氢、磷化氢在内的，用于半导体行业的注入气体，应特格将提供世界领先的半导体科技行业污染控制、关键材料处理、先进制程材料、制造与气体存储高尖端技术，博纯材料制造应特格的特殊气体产品。

据悉，博纯材料泉州工厂位于永春县大荣村，占地55000m²(13.6亩)，包括两个2.3级危险品库房及20多个电子气体包装、纯化和合成工艺中心。该工厂可在国内制造世界上最先进的半导体离子注入材料。新工厂也将成为继韩国、美国工厂后，应特格半导体特殊气体全球供应的第三个工厂，并将满足地区半导体现有发展产能至少到2022年。

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