其中，杭州福斯达深冷装备股份有限公司的《基于双塔双冷凝深冷技术的芯片专用超高纯制氮成套装置》获得浙江省科学技术进步奖三等奖。
7月11日，全省科技创新大会在省人民大会堂举行，颁发了306项2021年度浙江省科学技术奖。获得浙江省科学技术进步奖一等奖2家、二等奖3家、三等奖1家，浙江省技术发明奖二等奖1家。
福斯达获2021年度浙江省科学技术奖
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其中，杭州福斯达深冷装备股份有限公司的《基于双塔双冷凝深冷技术的芯片专用超高纯制氮成套装置》获得浙江省科学技术进步奖三等奖。