苏氧股份PPB级超高纯制氮机投产供气

该项目突破当前超高纯氮制氮机制造受制于外资品牌的发展困境，对卡脖子技术实现了攻关突破，打响中国制造品牌。同时也标志着苏氧股份为半导体芯片领域高纯氮气设备的应用再创佳绩，为苏氧股份暨广东粤芯半导体、上海积塔半导体、日月光半导体、华为松山湖总部等项目之后的又一力作。

今年年初，工信部等多个部委召开工业气体“卡脖子”问题协调工作会议，协调推进解决制约行业发展的“卡脖子”技术，电子大宗气体中的超高纯氮气是半导体、微电子行业不可缺少的基础性原材料，高端电子行业中的氮气纯度至少须保持在99.99999%以上。超高纯氮气可用于超大规模集成电路、液晶显示器件、半导体发光器件和半导体材料制造过程，影响着集成电路、液晶面板、LED、光伏等高端领域产品的电子元器件的性能优劣。

苏氧股份公司以匠人精神，精益求精，克服疫情带来的不利影响，高质量如期完成项目交付。在项目执行中，苏氧股份公司充分发挥流程计算及设备制造优势，按照高标准、严要求实施精细化管理，按项目配置要求进行现场集成，现场人员克服了疫情、现场气候条件等不利影响，保质保量完场了现场安装和调试工作，获得了用户的高度认可。