中巨芯子公司含氟电子气体项目（ 200 吨/年六氟化钨装置）阶段性验收

近日，浙江博瑞中硝科技有限公司含氟电子气体项目一期（年产 200 吨六氟化钨装置）通过了阶段性竣工环境保护验收。

项目简介

项目名称：浙江博瑞中硝科技有限公司含氟电子气体项目一期（年产 200 吨六氟化钨装置）

建设单位：浙江博瑞中硝科技有限公司

建设性质：新建

投资金额：实际总投资 9674.75 万元，其中环保投资 275 万元， 占总投资的 2.84%

项目地点：巨化集团有限公司厂区内（即中央大道、厂三路、北一道 和厂二路合围区域）

建设内容及规模：一车间、二车间、AHF罐区、尾气处理设施等，本项目 分两期进行实施，其中一期产品高纯电子气体六氟化钨设计产能规模为 200t/a；二期产品高纯电子气体六氟化钨设计产能规模为200t/a

本次验收产品方案一览表↓

六氟化钨

电子气体六氟化钨作为电子化学材料的重要组成部分，主要用途是在电子工业中作为金属钨化学气相沉积（CVD）工艺的原材料，特别是用它制成的WSi4 可用作大规模集成电路（LSI）中的配线材料，过混合金属的CVD 工艺制得钨和铼的复合涂层，可用于X-射线的发射电极和太阳能吸收器的制造，在电子行业中还主要用作半导体电极和导电浆糊等的原材料。

博瑞中硝

浙江博瑞电子科技有限公司为浙江巨化股份有限公司转型升级、融入信息产业而投建的控股公司中巨芯科技有限公司的全资子公司。为重点发展电子化学材料，博瑞电子与日本中央硝子株式会社进行合资成立浙江博瑞中硝科技有限公司，在巨化集团公司内建设含氟电子气体项目。项目分两期进行实施，其中一期产品高纯电子气体六氟化钨设计产能规模为 200t/a；二期六氟化钨设计产能规模为200t/a。

本次验收为阶段性验收，验收范围为含氟电子气体项目一期（年产 200 吨六氟化钨装置）。 该项目于 2019 年 10 月开工建设，2020 年 10 月建设完成，2020 年 11 月投入试生产，项目实际总投资约 9674.75 万元人民币，其中环保投资 275 万元左右，占总投资的 2.84%,项目环保设施基本到位，运行正常。