| 项目 | 指标 | ||
| 优等品 | 一等品 | 合格品 | |
| 氩纯度，10-2，≥ | 99.9996 | 99.9993 | 99.999 |
| 氢含量，10-6，≤ | 2 | 4 | 5 |
| 氧含量，10-6，≤ | 1 | 1 | 2 |
| 氮含量，10-6，≤ | 0.5 | 1 | 1 |
| 总碳含量（以甲烷计），10-6，≤ | 0.5 | 1 | 2 |
| 水分含量，10-6，≤ | 1 | 2.16 | 4 |
注：表中纯度和含量为体积分数。
表中氩纯度未扣除水分含量。
高纯氩检验规则：
- 高纯氩应由生产厂的质量检验部门检验。保证所有出厂产品符合本标准要求。
- 高纯氩质量按逐瓶逐项指标检验。
- 当检验结果有一项指标不符合本标准要求时，则该瓶产品为不合格。
- 用户有权按照本标准规定验收。
- 当供、需双方对检查结果发生异议时，由双方共同检验或提请仲裁。
