微量水和微量氧分析

一、微量氧分析仪

在高纯气体的分析中,几乎所有的高纯气体中都要求准确测定其中微量氧的含量。由于大气中含有大量的(21%)氧,准确测定高纯气体中微量氧乃至痕量氧,是气体分析中的难点之一。

二、微量水分析仪

微量水分也是评价高纯气体质量的主要指标之一。几乎所有的高纯气体都对水分有严格的要求,准确测量和严格控制高纯气体中水分含量,才能保证高纯气体的质量。

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