高纯气体管道氦气检漏方法
1、高纯大宗气体管道氦检漏常用方法采用内向检漏法、阀座检漏法、外向检漏法。
2、内向检漏法（喷氦法）应采用在高纯气体管道内部抽真空，外部喷氦气的方法进行检漏。
3、阀座检漏法应采用阀门上游充氦气，下游抽真空的方法检漏。
4、外向检漏法（吸枪法）应采用在高纯气体管道内部充氦气或氦氮混合气，外部用吸枪检查可能泄漏点的方法检漏。
5、氦检漏仪表应采用质谱型氦检测仪，其检测精度不得低于1
6、高纯气体氦检漏的泄漏率应符合下列要求：
6. 1、内向检漏法测定的泄漏率不得大于1*10-9mbar. l/s；
6.2、阀座检漏法测定的泄漏率不得大于1*10-6mbar. l/s；
6. 3、外向检漏法测定的泄漏率不得大于1*10-6mbar. l/s
7、氦检漏发现的泄漏点经修补后，应重新进行气密性试验并合格，然后应按规定再时行氦检漏。
8、所有可能泄漏的点应用塑料袋隔离。
9、系统测试完毕，应充入高纯氮气或氩气，并应进行吹扫。
10、测试完毕后，应提交测试报告。
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